Gravure du verre de chalcogénure GeSbSe en plasma fluoré ou à base de méthane

Gravure du verre de chalcogénure GeSbSe en plasma fluoré ou à base de méthane

Notre étude est focalisée sur la gravure du verre de chalcogénure GeSbSe en plasmas de SF6, SF6/Ar et CH4/H2/Ar. Ce travail s étend aux éléments purs Ge, Sb et Se ainsi qu aux binaires GeSe2et Sb2Se3. Une partie de ce travail est portée sur l identification des produits de gravure fluorés, hydrures...

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Bibliographic Details
Main Authors : Meyer Thibaut (Auteur), Cardinaud Christophe (Directeur de thèse), Girard Aurélie (Directeur de thèse), Vallée Christophe (Président du jury de soutenance), Nazabal Virginie (Membre du jury), Carette Michèle (Membre du jury)
Corporate Authors : Université de Nantes 1962-2021 (Organisme de soutenance), École doctorale Matière, Molécules Matériaux et Géosciences Le Mans (Ecole doctorale associée à la thèse), Université Bretagne Loire 2016-2019 (Autre partenaire associé à la thèse), Institut des Matériaux Jean Rouxel Nantes (Laboratoire associé à la thèse)
Format : Thesis
Language : français
Title statement : Gravure du verre de chalcogénure GeSbSe en plasma fluoré ou à base de méthane / Thibaut Meyer; sous la direction de Christophe Cardinaud et de Aurélie Girard
Published : 2019
Online Access : Via Nantes Université network
Online Access note : Accès au texte intégral
Note de thèse : Thèse de doctorat : Plasmas froids : Nantes : 2019
Subjects :
Spectroscopie d'émission optique à source plasma
Gravure par plasma
GeSe2
Sb2Se3
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