Gravure du verre de chalcogénure GeSbSe en plasma fluoré ou à base de méthane
Notre étude est focalisée sur la gravure du verre de chalcogénure GeSbSe en plasmas de SF6, SF6/Ar et CH4/H2/Ar. Ce travail s étend aux éléments purs Ge, Sb et Se ainsi qu aux binaires GeSe2et Sb2Se3. Une partie de ce travail est portée sur l identification des produits de gravure fluorés, hydrures...
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Collectivités auteurs : | , , , |
Format : | Thèse ou mémoire |
Langue : | français |
Titre complet : | Gravure du verre de chalcogénure GeSbSe en plasma fluoré ou à base de méthane / Thibaut Meyer; sous la direction de Christophe Cardinaud et de Aurélie Girard |
Publié : |
2019 |
Accès en ligne : |
Accès Nantes Université
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Note de thèse : | Thèse de doctorat : Plasmas froids : Nantes : 2019 |
Sujets : |