Gravure du verre de chalcogénure GeSbSe en plasma fluoré ou à base de méthane

Gravure du verre de chalcogénure GeSbSe en plasma fluoré ou à base de méthane

Notre étude est focalisée sur la gravure du verre de chalcogénure GeSbSe en plasmas de SF6, SF6/Ar et CH4/H2/Ar. Ce travail s étend aux éléments purs Ge, Sb et Se ainsi qu aux binaires GeSe2et Sb2Se3. Une partie de ce travail est portée sur l identification des produits de gravure fluorés, hydrures...

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Détails bibliographiques
Auteurs principaux : Meyer Thibaut (Auteur), Cardinaud Christophe (Directeur de thèse), Girard Aurélie chercheuse en électronique (Directeur de thèse), Vallée Christophe microélectronicien (Président du jury de soutenance), Nazabal Virginie (Membre du jury), Carette Michèle (Membre du jury)
Collectivités auteurs : Université de Nantes 1962-2021 (Organisme de soutenance), École doctorale Matière, Molécules Matériaux et Géosciences Le Mans (Ecole doctorale associée à la thèse), Université Bretagne Loire 2016-2019 (Autre partenaire associé à la thèse), Institut des Matériaux Jean Rouxel Nantes (Laboratoire associé à la thèse)
Format : Thèse ou mémoire
Langue : français
Titre complet : Gravure du verre de chalcogénure GeSbSe en plasma fluoré ou à base de méthane / Thibaut Meyer; sous la direction de Christophe Cardinaud et de Aurélie Girard
Publié : 2019
Accès en ligne : Accès Nantes Université
Note sur l'URL : Accès au texte intégral
Note de thèse : Thèse de doctorat : Plasmas froids : Nantes : 2019
Sujets :
Spectroscopie d'émission optique à source plasma
Gravure par plasma
GeSe2
Sb2Se3
Thèses et écrits académiques

Internet

http://www.theses.fr/2019NANT4064/document