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Applications of plasma processes to VLSI technology
Enregistré dans:
| Auteurs principaux : | , |
|---|---|
| Format : | Livre |
| Langue : | anglais japonais |
| Titre complet : | Applications of plasma processes to VLSI technology / edited by Takuo Sugano; translated by Hyo-gun Kim |
| Publié : |
New York :
Wiley
, c1985 |
| Description matérielle : | xiv, 394 p. |
| Œuvre : | Handōtai purazuma purosesu gijutsu. English |
| Sujets : |
BU Sciences
| | Cote | Prêt | Statut |
|---|---|---|---|
| 1er étage, salle 12 | 621 APP | Empruntable | Disponible |