Applications of plasma processes to VLSI technology
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Auteurs principaux : | , |
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Format : | Livre |
Langue : | anglais japonais |
Titre complet : | Applications of plasma processes to VLSI technology / edited by Takuo Sugano; translated by Hyo-gun Kim |
Publié : |
New York :
Wiley
, c1985 |
Description matérielle : | xiv, 394 p. |
Œuvre : | Handōtai purazuma purosesu gijutsu. English |
Sujets : |
BU Sciences
| Cote | Prêt | Statut |
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1er étage, salle 12 | 621 APP | Empruntable | Disponible |