Synthèse par PECVD et caractérisation de couches minces de TiO2 et de TiSiO pour applications optiques

Synthèse par PECVD et caractérisation de couches minces de TiO2 et de TiSiO pour applications optiques

Cette étude porte sur le dépôt PECVD basse température et la caractérisation structurale et optique de couches minces àbase de dioxyde de titane et de silicium pour applications en optique intégrée.La première partie de ce travail est consacrée à l'étude des couches minces de dioxyde de titane,...

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Main Author : Li Dayu (Auteur)
Format : Thesis
Language : anglais
Title statement : Synthèse par PECVD et caractérisation de couches minces de TiO2 et de TiSiO pour applications optiques / Dayu Li; sous la direction de Antoine Goullet
Published : 2013
Physical Description : 1 vol. (173 p.)
Note de thèse : Thèse de doctorat : Sciences des matériaux, plasmas et couches minces : Nantes : 2013
Subjects :
Silicium > Couches minces
Ellipsométrie
Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma
Thèses et écrits académiques
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