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Synthèse par PECVD et caractérisation de couches minces de TiO2 et de TiSiO pour applications optiques
Cette étude porte sur le dépôt PECVD basse température et la caractérisation structurale et optique de couches minces àbase de dioxyde de titane et de silicium pour applications en optique intégrée.La première partie de ce travail est consacrée à l'étude des couches minces de dioxyde de titane,...
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| Auteur principal : | |
|---|---|
| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | anglais |
| Titre complet : | Synthèse par PECVD et caractérisation de couches minces de TiO2 et de TiSiO pour applications optiques / Dayu Li; sous la direction de Antoine Goullet |
| Publié : |
2013 |
| Description matérielle : | 1 vol. (173 p.) |
| Note de thèse : | Thèse de doctorat : Sciences des matériaux, plasmas et couches minces : Nantes : 2013 |
| Sujets : |
BU Sciences
| | Cote | Prêt | Statut |
|---|---|---|---|
| Magasin aérotherme | 2013 NANT 2093 | Exclu du prêt | disponible |