Gravure plasma du CdHgTe : étude de précurseurs non conventionnels pour application aux détecteurs infrarouges hautes performances de très faible pas
Ce travail de thèse est consacré à l étude de nouveaux mélanges gazeux pour la gravure plasma du CdHgTe, à savoir : CH NO /H /Ar, CH OH/H /Ar et CH /NO /H /Ar. L objectif est de graver sans polarisation du substrat pour limiter l énergie déposée sur les surfaces gravées. Une première partie portant...
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Format : | Thesis |
Language : | français |
Title statement : | Gravure plasma du CdHgTe : étude de précurseurs non conventionnels pour application aux détecteurs infrarouges hautes performances de très faible pas / Jordan Piet; sous la direction de Christophe Cardinaud et de Aurélie Girard et de François Boulard |
Published : |
2019 |
Note de thèse : | Thèse de doctorat : Plasmas froids : Nantes : 2019 |
Conditions d'accès : | Thèse confidentielle jusqu'au 15 novembre 2029. |
Subjects : |