Gravure plasma du CdHgTe : étude de précurseurs non conventionnels pour application aux détecteurs infrarouges hautes performances de très faible pas

Gravure plasma du CdHgTe : étude de précurseurs non conventionnels pour application aux détecteurs infrarouges hautes performances de très faible pas

Ce travail de thèse est consacré à l étude de nouveaux mélanges gazeux pour la gravure plasma du CdHgTe, à savoir : CH NO /H /Ar, CH OH/H /Ar et CH /NO /H /Ar. L objectif est de graver sans polarisation du substrat pour limiter l énergie déposée sur les surfaces gravées. Une première partie portant...

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Auteurs principaux : Piet Jordan (Auteur), Cardinaud Christophe (Directeur de thèse), Girard Aurélie chercheuse en électronique (Directeur de thèse), Boulard François (Directeur de thèse), Bouchoule Sophie (Président du jury de soutenance), Dussart Rémi (Rapporteur de la thèse), Le Brizoual Laurent (Rapporteur de la thèse), Petit Sarah (Membre du jury), Pageau Arnaud (Membre du jury)
Collectivités auteurs : Université de Nantes 1962-2021 (Organisme de soutenance), École doctorale Matière, Molécules Matériaux et Géosciences Le Mans (Ecole doctorale associée à la thèse), Institut des Matériaux Jean Rouxel Nantes (Laboratoire associé à la thèse)
Format : Thèse ou mémoire
Langue : français
Titre complet : Gravure plasma du CdHgTe : étude de précurseurs non conventionnels pour application aux détecteurs infrarouges hautes performances de très faible pas / Jordan Piet; sous la direction de Christophe Cardinaud et de Aurélie Girard et de François Boulard
Publié : 2019
Note de thèse : Thèse de doctorat : Plasmas froids : Nantes : 2019
Conditions d'accès : Thèse confidentielle jusqu'au 15 novembre 2029.
Sujets :
Gravure par plasma
Sondes de Langmuir
Spectroscopie d'émission optique à source plasma
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