Etude des propriétés de couches minces d'oxyde de titane déposées par procédés plasmas (PECVD, pulvérisation magnétron réactive DC et HPPMS)
Cette thèse est dédiée à l étude de couches minces de TiO2 déposées par des procédés plasmas à basse pression et basse température. Hormis, leurs propriétés semi-conductrices intéressantes pour leur utilisation en tant que collecteur d électrons, le dioxyde de titane possède un indice de réfraction...
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Format : | Thesis |
Language : | français |
Title statement : | Etude des propriétés de couches minces d'oxyde de titane déposées par procédés plasmas (PECVD, pulvérisation magnétron réactive DC et HPPMS) / Karim Makaoui; sous la direction de Marie-Paule Besland ; co-encadrants Antoine Goullet et Agnès Granier |
Published : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 2012 |
Online Access : |
Via Nantes Université network
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Note de thèse : | Thèse de doctorat : Science des matériaux, Plasmas et couches minces : Nantes : 2012 |
Subjects : | |
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