Etude des propriétés de couches minces d'oxyde de titane déposées par procédés plasmas (PECVD, pulvérisation magnétron réactive DC et HPPMS)

Etude des propriétés de couches minces d'oxyde de titane déposées par procédés plasmas (PECVD, pulvérisation magnétron réactive DC et HPPMS)

Cette thèse est dédiée à l étude de couches minces de TiO2 déposées par des procédés plasmas à basse pression et basse température. Hormis, leurs propriétés semi-conductrices intéressantes pour leur utilisation en tant que collecteur d électrons, le dioxyde de titane possède un indice de réfraction...

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Auteurs principaux : Makaoui Karim (Auteur), Besland Marie-Paule (Directeur de thèse), Goullet Antoine (Directeur de thèse), Granier Agnès (Directeur de thèse)
Collectivités auteurs : Université de Nantes Faculté des sciences et des techniques (Autre partenaire associé à la thèse), Université de Nantes 1962-2021 (Organisme de soutenance), École doctorale Matériaux, Matières, Molécules en Pays de la Loire (3MPL) Le Mans 2008-2021 (Organisme de soutenance)
Format : Thèse ou mémoire
Langue : français
Titre complet : Etude des propriétés de couches minces d'oxyde de titane déposées par procédés plasmas (PECVD, pulvérisation magnétron réactive DC et HPPMS) / Karim Makaoui; sous la direction de Marie-Paule Besland ; co-encadrants Antoine Goullet et Agnès Granier
Publié : [S.l.] : [s.n.] , 2012
Accès en ligne : Accès Nantes Université
Note de thèse : Thèse de doctorat : Science des matériaux, Plasmas et couches minces : Nantes : 2012
Sujets :
Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma
Oxyde de titane
Ellipsométrie
Pulvérisation magnétron DC > HPPMS > OES > Structure > Physico-chimie
Thèses et écrits académiques
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