Etude des propriétés de couches minces d'oxyde de titane déposées par procédés plasmas (PECVD, pulvérisation magnétron réactive DC et HPPMS)
Cette thèse est dédiée à l étude de couches minces de TiO2 déposées par des procédés plasmas à basse pression et basse température. Hormis, leurs propriétés semi-conductrices intéressantes pour leur utilisation en tant que collecteur d électrons, le dioxyde de titane possède un indice de réfraction...
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Format : | Thèse ou mémoire |
Langue : | français |
Titre complet : | Etude des propriétés de couches minces d'oxyde de titane déposées par procédés plasmas (PECVD, pulvérisation magnétron réactive DC et HPPMS) / Karim Makaoui; sous la direction de Marie-Paule Besland ; co-encadrants Antoine Goullet et Agnès Granier |
Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 2012 |
Description matérielle : | 1 vol. (211 p.) |
Note de thèse : | Thèse de doctorat : Science des matériaux, Plasmas et couches minces : Nantes : 2012 |
Disponibilité : | Publication autorisée par le jury |
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Etude des propriétés de couches minces d'oxyde de titane déposées par procédés plasmas (PECVD, pulvérisation magnétron réactive DC et HPPMS) |
BU Sciences
| Cote | Prêt | Statut |
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Magasin aérotherme | 2012 NANT 2016 | Empruntable | Disponible |
Magasin aérotherme | 2012 NANT 2016 | Exclu du prêt | disponible |