Gravure en plasmas denses fluorés de verres de silice pour l'élaboration de dispositifs microfluidiques : étude expérimentale et modélisation

Gravure en plasmas denses fluorés de verres de silice pour l'élaboration de dispositifs microfluidiques : étude expérimentale et modélisation

Le but de ce travail est de caractériser en détail les plasmas fluorés de CHF3/Ar, CF4/Ar et SF6/Ar et plus particulièrement ce dernier ainsi que leur interaction avec les verres de silice pendant un procédé de gravure destiné à la réalisation de dispositifs microfluidiques. Nous avons tout d abord...

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Bibliographic Details
Main Author : Lallement Ludovic (Auteur)
Corporate Authors : Université de Nantes 1962-2021 (Organisme de soutenance), Université de Nantes Faculté des sciences et des techniques (Autre partenaire associé à la thèse), École doctorale Matériaux, Matières, Molécules en Pays de la Loire (3MPL) Le Mans 2008-2021 (Organisme de soutenance)
Other Authors : Cardinaud Christophe (Directeur de thèse), Rhallabi Ahmed (Directeur de thèse)
Format : Thesis
Language : français
Title statement : Gravure en plasmas denses fluorés de verres de silice pour l'élaboration de dispositifs microfluidiques : étude expérimentale et modélisation / Ludovic Lallement; sous la direction de Christophe Cardinaud et Ahmed Rhallabi
Published : [S.l.] : [s.n.] , 2009
Physical Description : 1 vol. (186 f.)
Note de thèse : Thèse de doctorat : Plasmas et couches minces : Nantes : 2009
Subjects :
Microtechniques > Thèses et écrits académiques
Gravure par plasma > Thèses et écrits académiques
Verre de silice > Thèses et écrits académiques
Plasmas (gaz ionisés) > Thèses et écrits académiques

BU Sciences

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Magasin aérotherme 2009 NANT 2112 Empruntable Available
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