Gravure en plasmas denses fluorés de verres de silice pour l'élaboration de dispositifs microfluidiques : étude expérimentale et modélisation
Le but de ce travail est de caractériser en détail les plasmas fluorés de CHF3/Ar, CF4/Ar et SF6/Ar et plus particulièrement ce dernier ainsi que leur interaction avec les verres de silice pendant un procédé de gravure destiné à la réalisation de dispositifs microfluidiques. Nous avons tout d abord...
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Format : | Thèse ou mémoire |
Langue : | français |
Titre complet : | Gravure en plasmas denses fluorés de verres de silice pour l'élaboration de dispositifs microfluidiques : étude expérimentale et modélisation / Ludovic Lallement; sous la direction de Christophe Cardinaud et Ahmed Rhallabi |
Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 2009 |
Description matérielle : | 1 vol. (186 f.) |
Note de thèse : | Thèse de doctorat : Plasmas et couches minces : Nantes : 2009 |
Sujets : |
BU Sciences
| Cote | Prêt | Statut |
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Magasin aérotherme | 2009 NANT 2112 | Empruntable | Disponible |
Magasin aérotherme | 2009 NANT 2112 | Exclu du prêt | disponible |