Développement, intégration et modélisation de composants passifs intégrés en couches minces dans une filière CMOS

Nous proposons dans cette thèse de développer une technologie de composants passifs dans les niveaux de métallisation d'une filière industrielle en effectuant un report des contraintes en performances sur les propriétés des matériaux utilisés en couches minces. Nous présentons la démarche adopt...

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Auteur principal : Salimy Siamak (Auteur)
Collectivités auteurs : Université de Nantes 1962-2021 (Organisme de soutenance), Université de Nantes Faculté des sciences et des techniques (Autre partenaire associé à la thèse), École polytechnique de l'Université de Nantes (Autre partenaire associé à la thèse), École doctorale Sciences et technologies de l'information et mathématiques Nantes (Organisme de soutenance)
Autres auteurs : Toutain Serge (Directeur de thèse), Rhallabi Ahmed (Directeur de thèse), Goullet Antoine (Directeur de thèse)
Format : Thèse ou mémoire
Langue : français
Titre complet : Développement, intégration et modélisation de composants passifs intégrés en couches minces dans une filière CMOS / Siamak Salimy; sous la direction de Serge Toutain; co-directeurs Ahmed Rhallabi et Antoine Goullet
Publié : [S.l.] : [s.n.] , 2010
Description matérielle : 1 vol. (185 f.)
Note de thèse : Thèse de doctorat : Électronique : Nantes : 2010
Disponibilité : Publication autorisée par le jury sauf les annexes 2 et 3 confidentielles jusqu'au 8 mars 2020
Sujets :
Documents associés : Reproduit comme: Développement, intégration et modélisation de composants passifs intégrés en couches minces dans une filière CMOS

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