VANCOUVER Edition Citation

1.
, , . Limites imposées par les procédés de gravure plasma lors de la réalisation d’une structure double damascène. [[S.l.]: [s.n.]; 2024.

ISO690 Edition Citation

, et . Limites imposées par les procédés de gravure plasma lors de la réalisation d’une structure double damascène. [S.l.] : [s.n.], 1 juin 2024

Style de citation APA (7e éd.)

Bailly Fanny, Cardinaud Christophe, & David Thibaut. (2008). Limites imposées par les procédés de gravure plasma lors de la réalisation d'une structure double damascène: Rugosité en fond de ligne des diélectriques poreux et intégration des barrières auto-positionnées. [s.n.].

Style de citation MLA (8e éd.)

Bailly Fanny, et al. Limites Imposées Par Les Procédés De Gravure Plasma Lors De La Réalisation D'une Structure Double Damascène: Rugosité En Fond De Ligne Des Diélectriques Poreux Et Intégration Des Barrières Auto-positionnées. [s.n.], 2008.

Attention : ces citations peuvent ne pas être correctes à 100%.