Nantilus
Limites imposées par les procédés de gravure plasma lors de la réalisation d'une structure double damascène : rugosité en fond de ligne des diélectriques poreux et intégration des barrières auto-positionnées
La diminution des dimensions et l'augmentation des densités d'intégration des composants microélectroniques rendent la fabrication des interconnexions, et en particulier ceux utilisant la structure double damascène, toujours plus délicate. Notre travail a été focalisé sur deux des difficul...
Saved in:
| Main Author : | |
|---|---|
| Corporate Authors : | , , |
| Other Authors : | , |
| Format : | Thesis |
| Language : | français |
| Title statement : | Limites imposées par les procédés de gravure plasma lors de la réalisation d'une structure double damascène : rugosité en fond de ligne des diélectriques poreux et intégration des barrières auto-positionnées / Fanny Bailly; sous la direction de Christophe Cardinaud; co-encadrant Thibaut David |
| Published : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 2008 |
| Physical Description : | 1 vol. (310 f.) |
| Note de thèse : | Thèse doctorat : Sciences des matériaux : Nantes : 2008 |
| Availability : | Publication autorisée par le jury |
| Subjects : |
BU Sciences
| Location | Call Number | Loan type | Status |
|---|---|---|---|
| Magasin aérotherme | 2008 NANT 2126 | Empruntable | Available |
| Magasin aérotherme | 2008 NANT 2126 | Exclu du prêt | disponible |