Nantilus
MEMS/NEMS : Handbook Techniques and Applications
Micro-Electro Mechanical Systems (MEMS) is the integration of mechanical elements, sensors, actuators, and electronics on a common silicon substrate. While the electronics are fabricated using integrated circuit (IC) process sequences (e.g., CMOS, Bipolar, or BICMOS processes), the micromechanical c...
Enregistré dans:
| Auteur principal : | |
|---|---|
| Format : | Livre |
| Langue : | anglais |
| Titre complet : | MEMS/NEMS : Handbook Techniques and Applications / edited by Cornelius T. Leondes. |
| Publié : |
New York, NY :
Springer US
, 2006 Cham : Springer Nature |
| Accès en ligne : |
Accès Nantes Université
Accès direct soit depuis les campus via le réseau ou le wifi eduroam soit à distance avec un compte @etu.univ-nantes.fr ou @univ-nantes.fr |
| Note sur l'URL : | Accès sur la plateforme de l'éditeur Accès sur la plateforme Istex |
| Condition d'utilisation et de reproduction : | Conditions particulières de réutilisation pour les bénéficiaires des licences nationales : chttps://www.licencesnationales.fr/springer-nature-ebooks-contrat-licence-ln-2017 |
| Sujets : | |
| Documents associés : | Autre format:
Mems/Nems Autre format: Mems/Nems Autre format: Mems/Nems |