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Fundamentals of nanoscale film analysis
Modern science and technology, from materials science to integrated circuit development, is directed toward the nanoscale. From thin films to field effect transistors, the emphasis is on reducing dimensions from the micro to the nanoscale. Fundamentals of Nanoscale Film Analysis concentrates on anal...
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| Auteur principal : | |
|---|---|
| Format : | Livre |
| Langue : | anglais |
| Titre complet : | Fundamentals of nanoscale film analysis / by Terry L. Alford, Leonard C. Feldman, James W. Mayer. |
| Publié : |
New York, NY :
Springer US
, [20..] Cham : Springer Nature |
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