NantilusGravure en plasma dense fluorocarboné de matériaux organosiliciés à faible constante diélectrique (SiOCH, SiOCH poreux) : étude d'un procédé de polarisation pulsée
L'objet de ce travail est la gravure en plasma ICP fluorocarboné de matériaux à faible constante diélectrique que sont les méthylsilsesquioxanes SiOCH et SiOCH poreux, utilisés comme isolant intermétallique dans la réalisation de circuits intégrés en microélectronique. La gravure de matériaux u...
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| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | Gravure en plasma dense fluorocarboné de matériaux organosiliciés à faible constante diélectrique (SiOCH, SiOCH poreux) : étude d'un procédé de polarisation pulsée / Vanessa Raballand; Christophe Cardinaud, directeur de thèse ; Gilles Cartry, co-encadrant |
| Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 2006 |
| Description matérielle : | 1 vol. (226 p.) |
| Note de thèse : | Thèse doctorat : Science des matériaux. Plasmas et couches minces : Nantes : 2006 |
| Disponibilité : | Publication autorisée par le jury |
| Sujets : |
BU Sciences
| | Cote | Prêt | Statut |
|---|---|---|---|
| Magasin aérotherme | 2006 NANT 2040 | Empruntable | Disponible |
| Magasin aérotherme | 2006 NANT 2040 | Exclu du prêt | Disponible |