NantilusCouches minces de nitrure d'aluminium : étude du dépôt par réaction chimique dans la phase gazeuse AlBr3 - NH3-H2, évaluation de leurs propriétés électriques
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| Auteur principal : | |
|---|---|
| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | Couches minces de nitrure d'aluminium : étude du dépôt par réaction chimique dans la phase gazeuse AlBr3 - NH3-H2, évaluation de leurs propriétés électriques |
| Publié : |
1982 |
| Description matérielle : | 126 f. |
| Note de thèse : | Th. : Sci. : Nantes : 1982 ; 3e cycle |
| Sujets : |
BU Sciences
| | Cote | Prêt | Statut |
|---|---|---|---|
| Magasin aérotherme | 82 NANT Bouteville 2ex | Empruntable | Disponible |
| Magasin aérotherme | 82 NANT Bouteville 3ex | Exclu du prêt | Disponible |