Etude de la toppographie du travail de sortie du silicium et de l'oxyde de silicium : oxydation du silicium sous faible pression d'oxygène

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Auteur principal : Pilorget Loïc
Format : Thèse ou mémoire
Langue : français
Titre complet : Etude de la toppographie du travail de sortie du silicium et de l'oxyde de silicium : oxydation du silicium sous faible pression d'oxygène
Publié : 1984
Description matérielle : 125 p
Note de thèse : Th. : Sci. : Nantes : 1984 ; 3e cycle
Physique des solides (Matériaux)
Sujets :

BU Sciences

Informations d'exemplaires de BU Sciences
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