Holdings: Etude des paramètres physico-chimiques affectant la gravure par plasma de la silice dans les microcircuits M.O.S.

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Bibliographic Details
Main Author :	Launay Patrick
Format :	Thesis
Language :	français
Title statement :	Etude des paramètres physico-chimiques affectant la gravure par plasma de la silice dans les microcircuits M.O.S.
Published :	1984
Physical Description :	218 p
Note de thèse :	Th. : Sci. : Nantes : 1984 ; 3e cycle
Subjects :	Microélectronique Circuits intégrés MOS (Métal - Oxyde - Semiconducteur) Lithographie Gravure par plasma Plasmas, chimie Spectrométrie de masse Silicium, gravure CHF3, plasma C2F6, plasma

Holdings details from BU Sciences
Location	Call Number	Loan type	Status
Magasin aérotherme	84 NANT Launay 2ex	Empruntable	Available
Magasin aérotherme	84 NANT Launay 3ex	Exclu du prêt	Disponible