NantilusEtude des paramètres physico-chimiques affectant la gravure par plasma de la silice dans les microcircuits M.O.S.
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| Auteur principal : | |
|---|---|
| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | Etude des paramètres physico-chimiques affectant la gravure par plasma de la silice dans les microcircuits M.O.S. |
| Publié : |
1984 |
| Description matérielle : | 218 p |
| Note de thèse : | Th. : Sci. : Nantes : 1984 ; 3e cycle |
| Sujets : |
BU Sciences
| | Cote | Prêt | Statut |
|---|---|---|---|
| Magasin aérotherme | 84 NANT Launay 2ex | Empruntable | Disponible |
| Magasin aérotherme | 84 NANT Launay 3ex | Exclu du prêt | Disponible |