Etude des paramètres physico-chimiques affectant la gravure par plasma de la silice dans les microcircuits M.O.S.
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Auteur principal : | |
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Format : | Thèse ou mémoire |
Langue : | français |
Titre complet : | Etude des paramètres physico-chimiques affectant la gravure par plasma de la silice dans les microcircuits M.O.S. |
Publié : |
1984 |
Description matérielle : | 218 p |
Note de thèse : | Th. : Sci. : Nantes : 1984 ; 3e cycle |
Sujets : |
BU Sciences
| Cote | Prêt | Statut |
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Magasin aérotherme | 84 NANT Launay 2ex | Empruntable | Disponible |
Magasin aérotherme | 84 NANT Launay 3ex | Exclu du prêt | Disponible |