|
|
|
|
| LEADER |
01247nam a2200349 4500 |
| 001 |
PPN072522275 |
| 005 |
20031223093000.0 |
| 009 |
DYNIX_BUNAN_206463 |
| 100 |
|
|
|a 19950912d1984 u0frey0103 ba
|
| 101 |
0 |
|
|a fre
|
| 102 |
|
|
|a Fr
|
| 105 |
|
|
|a m m
|
| 200 |
1 |
|
|a Etude des paramètres physico-chimiques affectant la gravure par plasma de la silice dans les microcircuits M.O.S.
|
| 210 |
|
|
|d 1984
|
| 215 |
|
|
|a 218 p
|c ill.
|d 30 cm
|
| 320 |
|
|
|a 46 réf. bibl.
|
| 328 |
|
|
|a Th. : Sci. : Nantes : 1984 ; 3e cycle
|
| 610 |
2 |
|
|a Microélectronique
|
| 610 |
2 |
|
|a Circuits intégrés MOS (Métal - Oxyde - Semiconducteur)
|
| 610 |
2 |
|
|a Lithographie
|
| 610 |
2 |
|
|a Gravure par plasma
|
| 610 |
2 |
|
|a Plasmas, chimie
|
| 610 |
2 |
|
|a Spectrométrie de masse
|
| 610 |
2 |
|
|a Silicium, gravure
|
| 610 |
2 |
|
|a CHF3, plasma
|
| 610 |
2 |
|
|a C2F6, plasma
|
| 700 |
|
1 |
|a Launay
|b Patrick
|
| 801 |
|
|
|a FR
|b DYNIX_BUNAN
|c 19950912
|g AFNOR
|
| 979 |
|
|
|a SCI
|
| 993 |
|
|
|a 1160620925
|b SCI
|c 84 NANT Launay 2ex
|d EM
|e THE12
|f I
|g 12-09-1995
|h 12-09-1995
|i 15-07-2003
|o 02-11-1995
|p 1
|s 84 NANT 3e cycle
|t EM
|u SCTH12
|v i
|
| 993 |
|
|
|a 1160620918
|b SCI
|c 84 NANT Launay 3ex
|d EM
|e THEMAG
|f I
|g 12-09-1995
|h 11-02-1999
|i 20-08-1998
|s 84 NANT 3e cycle
|t EM
|u SCTHMAG
|v i
|
| 998 |
|
|
|a 226079
|
Nantilus