Etude des oxynitrures de silicium en couches minces déposées par pulvérisation en vue d'applications optiques
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Format : | Thesis |
Language : | français |
Title statement : | Etude des oxynitrures de silicium en couches minces déposées par pulvérisation en vue d'applications optiques |
Published : |
1993 |
Physical Description : | 185 p |
Note de thèse : | Th. : Sci. : U. Claude Bernard (LYON I) : 1993 ; No 2735 |
Subjects : |
BU Sciences
Location | Call Number | Loan type | Status |
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Magasin aérotherme | 93 LYO1 Pinard | Empruntable | Available |