NantilusEtude des oxynitrures de silicium en couches minces déposées par pulvérisation en vue d'applications optiques
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| Auteur principal : | |
|---|---|
| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | Etude des oxynitrures de silicium en couches minces déposées par pulvérisation en vue d'applications optiques |
| Publié : |
1993 |
| Description matérielle : | 185 p |
| Note de thèse : | Th. : Sci. : U. Claude Bernard (LYON I) : 1993 ; No 2735 |
| Sujets : |
BU Sciences
| | Cote | Prêt | Statut |
|---|---|---|---|
| Magasin aérotherme | 93 LYO1 Pinard | Empruntable | Disponible |