Affichage MARC: Etude des oxynitrures de silicium en couches minces déposées par pulvérisation en vue d'applications optiques

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Détails bibliographiques
Auteur principal :	Pinard Laurent
Format :	Thèse ou mémoire
Langue :	français
Titre complet :	Etude des oxynitrures de silicium en couches minces déposées par pulvérisation en vue d'applications optiques
Publié :	1993
Description matérielle :	185 p
Note de thèse :	Th. : Sci. : U. Claude Bernard (LYON I) : 1993 ; No 2735
Sujets :	Multicouches optiques à faibles pertes (couches minces optiques) Couches minces d'oxynitrures de silicium, propriétés, analyses Pulvérisation cathodique Pulvérisation RF (Radio-Fréquence) magnétron


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