Description: Etude des oxynitrures de silicium en couches minces déposées par pulvérisation en vue d'applications optiques

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Bibliographic Details
Main Author :	Pinard Laurent
Format :	Thesis
Language :	français
Title statement :	Etude des oxynitrures de silicium en couches minces déposées par pulvérisation en vue d'applications optiques
Published :	1993
Physical Description :	185 p
Note de thèse :	Th. : Sci. : U. Claude Bernard (LYON I) : 1993 ; No 2735
Subjects :	Multicouches optiques à faibles pertes (couches minces optiques) Couches minces d'oxynitrures de silicium, propriétés, analyses Pulvérisation cathodique Pulvérisation RF (Radio-Fréquence) magnétron

Description
Notes :	IPNL / IN2P3 - CNRS
Bibliography :	129 réf. bibl.