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Etude des oxynitrures de silicium en couches minces déposées par pulvérisation en vue d’applications optiques. 1993.
Etude des oxynitrures de silicium en couches minces déposées par pulvérisation en vue d’applications optiques. [S. l.] : [s. n.], 20 mai 1993
Pinard Laurent. (1993). Etude des oxynitrures de silicium en couches minces déposées par pulvérisation en vue d'applications optiques.
Style de citation MLA (8e éd.)Pinard Laurent. Etude Des Oxynitrures De Silicium En Couches Minces Déposées Par Pulvérisation En Vue D'applications Optiques. 1993.
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