NantilusEtude théorique et expérimentale des phénomènes de conduction thermique dans les matériaux diélectriques déposés en couches minces : application aux dépôts d'oxyde
This work deals with the theoretical and experimental study of thermophysical properties of the dielectric thin films with a thickness definitely lower than one micron. This work details how to analyse thermal conduction phenomena on various scales in order to better understand the role of the micro...
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| Format : | Thesis |
| Language : | français |
| Title statement : | Etude théorique et expérimentale des phénomènes de conduction thermique dans les matériaux diélectriques déposés en couches minces : application aux dépôts d'oxyde / Stéphane Orain; [sous la dir. de] Yves Scudeller |
| Published : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 2000 |
| Physical Description : | 180 p. |
| Note de thèse : | Thèse doctorat : Sciences de l'ingénieur. Transferts thermiques : Nantes : 2000 |
| Availability : | Publication autorisée par le jury |
| Subjects : |
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