NantilusEtude théorique et expérimentale des phénomènes de conduction thermique dans les matériaux diélectriques déposés en couches minces : application aux dépôts d'oxyde
This work deals with the theoretical and experimental study of thermophysical properties of the dielectric thin films with a thickness definitely lower than one micron. This work details how to analyse thermal conduction phenomena on various scales in order to better understand the role of the micro...
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| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | Etude théorique et expérimentale des phénomènes de conduction thermique dans les matériaux diélectriques déposés en couches minces : application aux dépôts d'oxyde / Stéphane Orain; [sous la dir. de] Yves Scudeller |
| Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 2000 |
| Description matérielle : | 180 p. |
| Note de thèse : | Thèse doctorat : Sciences de l'ingénieur. Transferts thermiques : Nantes : 2000 |
| Disponibilité : | Publication autorisée par le jury |
| Sujets : |
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