Etude théorique et expérimentale des phénomènes de conduction thermique dans les matériaux diélectriques déposés en couches minces
: application aux dépôts d'oxyde
This work deals with the theoretical and experimental study of thermophysical properties of the dielectric thin films with a thickness definitely lower than one micron. This work details how to analyse thermal conduction phenomena on various scales in order to better understand the role of the micro...
Description complète
Enregistré dans:
Détails bibliographiques
| Auteur principal : |
Orain Stéphane
(Auteur) |
| Collectivité auteur : |
Université de Nantes 1962-2021
(Organisme de soutenance) |
| Autres auteurs : |
Scudeller Yves
(Directeur de thèse) |
| Format : |
Thèse ou mémoire |
| Langue : |
français |
| Titre complet : |
Etude théorique et expérimentale des phénomènes de conduction thermique dans les matériaux diélectriques déposés en couches minces : application aux dépôts d'oxyde / Stéphane Orain; [sous la dir. de] Yves Scudeller |
| Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 2000
|
| Description matérielle : |
180 p. |
| Note de thèse : |
Thèse doctorat : Sciences de l'ingénieur. Transferts thermiques : Nantes : 2000 |
| Disponibilité : |
Publication autorisée par le jury |
| Sujets : |
|
Nantilus