Etude théorique et expérimentale des phénomènes de conduction thermique dans les matériaux diélectriques déposés en couches minces : application aux dépôts d'oxyde

This work deals with the theoretical and experimental study of thermophysical properties of the dielectric thin films with a thickness definitely lower than one micron. This work details how to analyse thermal conduction phenomena on various scales in order to better understand the role of the micro...

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Détails bibliographiques
Auteur principal : Orain Stéphane (Auteur)
Collectivité auteur : Université de Nantes 1962-2021 (Organisme de soutenance)
Autres auteurs : Scudeller Yves (Directeur de thèse)
Format : Thèse ou mémoire
Langue : français
Titre complet : Etude théorique et expérimentale des phénomènes de conduction thermique dans les matériaux diélectriques déposés en couches minces : application aux dépôts d'oxyde / Stéphane Orain; [sous la dir. de] Yves Scudeller
Publié : [S.l.] : [s.n.] , 2000
Description matérielle : 180 p.
Note de thèse : Thèse doctorat : Sciences de l'ingénieur. Transferts thermiques : Nantes : 2000
Disponibilité : Publication autorisée par le jury
Sujets :
Description
Résumé : This work deals with the theoretical and experimental study of thermophysical properties of the dielectric thin films with a thickness definitely lower than one micron. This work details how to analyse thermal conduction phenomena on various scales in order to better understand the role of the microstructure on the thermal conductivity. This study was undertaken on various amorphous and polycrystalline oxides (ZrO2, SiO2) and a polymer deposited by different techniques (RF sputtering, thermal evaporation).
Ce travail concerne l'étude théorique et expérimentale des propriétés thermophysiques des couches minces diélectriques lorsque l'épaisseur de celles-ci devient nettement inférieure au micron. Ce travail a permis d'analyser les phénomènes de conduction thermique à différentes échelles du matériau afin de mieux comprendre le rôle de la microstructure sur la conductivité thermique. Cette étude a été menée sur différents oxydes-amorphe et polycristallin- (ZrO2, SiO2) et un polymère (poly(p-phénylène-vynilène)) déposé sous vide par divers procédés (pulvérisation RF, évaporation thermique).
Notes : Thèse : 2000NANT2123
Bibliographie : Bibliogr. p. 176-180