ETUDE DES DEGRADATIONS INDUITES DANS LES OXYDES DE GRILLE DES DISPOSITIFS MOS PAR LES PROCEDES PLASMA
LES PROCEDES PLASMA OCCUPENT UNE PLACE PREPONDERANTE DANS LES ENCHAINEMENTS TECHNOLOGIQUES DE FABRICATION DES CIRCUITS INTEGRES. LES DEGRADATIONS DES DISPOSITIFS AU COURS DES ETAPES PLASMA, ET PLUS PARTICULIEREMENT LES DEGRADATIONS DES OXYDES DE GRILLE DES DISPOSITIFS MOS SONT DEPUIS PLUSIEURS ANNEE...
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Format : | Thesis |
Language : | français |
Title statement : | ETUDE DES DEGRADATIONS INDUITES DANS LES OXYDES DE GRILLE DES DISPOSITIFS MOS PAR LES PROCEDES PLASMA / THIERRY POIROUX; SOUS LA DIR. DE GUY TURBAN |
Published : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 2000 |
Physical Description : | 230 p. |
Note de thèse : | Thèse de doctorat : Sciences et techniques : Nantes : 2000 |
Subjects : |
BU Sciences
Location | Call Number | Loan type | Status |
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Magasin aérotherme | 00 NANT 2029 | Empruntable | Available |
Magasin aérotherme | 00 NANT 2029 | Exclu du prêt | Disponible |