ETUDE DES DEGRADATIONS INDUITES DANS LES OXYDES DE GRILLE DES DISPOSITIFS MOS PAR LES PROCEDES PLASMA
LES PROCEDES PLASMA OCCUPENT UNE PLACE PREPONDERANTE DANS LES ENCHAINEMENTS TECHNOLOGIQUES DE FABRICATION DES CIRCUITS INTEGRES. LES DEGRADATIONS DES DISPOSITIFS AU COURS DES ETAPES PLASMA, ET PLUS PARTICULIEREMENT LES DEGRADATIONS DES OXYDES DE GRILLE DES DISPOSITIFS MOS SONT DEPUIS PLUSIEURS ANNEE...
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Format : | Thèse ou mémoire |
Langue : | français |
Titre complet : | ETUDE DES DEGRADATIONS INDUITES DANS LES OXYDES DE GRILLE DES DISPOSITIFS MOS PAR LES PROCEDES PLASMA / THIERRY POIROUX; SOUS LA DIR. DE GUY TURBAN |
Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 2000 |
Description matérielle : | 230 p. |
Note de thèse : | Thèse de doctorat : Sciences et techniques : Nantes : 2000 |
Sujets : |
BU Sciences
| Cote | Prêt | Statut |
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Magasin aérotherme | 00 NANT 2029 | Empruntable | Disponible |
Magasin aérotherme | 00 NANT 2029 | Exclu du prêt | Disponible |