ETUDE DES DEGRADATIONS INDUITES DANS LES OXYDES DE GRILLE DES DISPOSITIFS MOS PAR LES PROCEDES PLASMA

ETUDE DES DEGRADATIONS INDUITES DANS LES OXYDES DE GRILLE DES DISPOSITIFS MOS PAR LES PROCEDES PLASMA

LES PROCEDES PLASMA OCCUPENT UNE PLACE PREPONDERANTE DANS LES ENCHAINEMENTS TECHNOLOGIQUES DE FABRICATION DES CIRCUITS INTEGRES. LES DEGRADATIONS DES DISPOSITIFS AU COURS DES ETAPES PLASMA, ET PLUS PARTICULIEREMENT LES DEGRADATIONS DES OXYDES DE GRILLE DES DISPOSITIFS MOS SONT DEPUIS PLUSIEURS ANNEE...

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Bibliographic Details
Main Author : Poiroux Thierry (Auteur)
Corporate Author : Université de Nantes 1962-2021 (Organisme de soutenance)
Other Authors : Turban Guy (Directeur de thèse)
Format : Thesis
Language : français
Title statement : ETUDE DES DEGRADATIONS INDUITES DANS LES OXYDES DE GRILLE DES DISPOSITIFS MOS PAR LES PROCEDES PLASMA / THIERRY POIROUX; SOUS LA DIR. DE GUY TURBAN
Published : [S.l.] : [s.n.] , 2000
Physical Description : 230 p.
Note de thèse : Thèse de doctorat : Sciences et techniques : Nantes : 2000
Subjects :
SCIENCES ET TECHNIQUES : ELECTRONIQUE
STRUCTURE MOS ; ELECTRODE COMMANDE ; DEGRADATION ; PROCEDE FABRICATION ; PLASMA ; FIABILITE ; CIRCUIT INTEGRE ; METHODE MESURE ; TECHNOLOGIE SILICIUM SUR ISOLANT ; CONCEPTION CIRCUIT ; ENDOMMAGEMENT ; DAMASQUINAGE

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