DEPOT ET GRAVURE DES COUCHES MINCES DE CARBONE (A-C : H) ET DE CARBONITRURE (A-C:H:N) AMORPHES HYDROGENES DANS UN PLASMA EXCITE PAR RESONANCE CYCLOTRONIQUE ELECTRONIQUE ET RADIOFREQUENCE

DEPOT ET GRAVURE DES COUCHES MINCES DE CARBONE (A-C : H) ET DE CARBONITRURE (A-C:H:N) AMORPHES HYDROGENES DANS UN PLASMA EXCITE PAR RESONANCE CYCLOTRONIQUE ELECTRONIQUE ET RADIOFREQUENCE

DES COUCHES MINCES DE CARBONE (A-C:H) ET DE CARBONITRURE AMORPHE HYDROGENE (A-C:H:N) ONT ETE DEPOSEES A BASSE PRESSION (0,35 PA) DANS UNE DECHARGE DUALE RCE - RF. L'INTERACTION ENTRE LE PLASMA ET LA SURFACE PENDANT LE DEPOT ET LA GRAVURE DES FILMS DE A-C:H:(N) A ETE CONTROLEE PAR ELLIPSOMETRIE...

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Bibliographic Details
Main Author : HONG JUNEGIE
Other Authors : Turban Guy (Directeur de thèse)
Format : Thesis
Language : français
Title statement : DEPOT ET GRAVURE DES COUCHES MINCES DE CARBONE (A-C : H) ET DE CARBONITRURE (A-C:H:N) AMORPHES HYDROGENES DANS UN PLASMA EXCITE PAR RESONANCE CYCLOTRONIQUE ELECTRONIQUE ET RADIOFREQUENCE / JUNEGIE HONG; SOUS LA DIR. DE GUY TURBAN
Published : [S.l.] : [s.n.] , 1999
Physical Description : 175 p.
Note de thèse : Thèse de doctorat : PHYSIQUE : Nantes : 1999
Subjects :
PHYSIQUE : DOMAINES INTERDISCIPLINAIRES : SCIENCES DE MATERIAUX . RHELOGIE
ETUDE EXPERIMENTALE/COUCHE MINCE/ETAT AMORPHE/DEPOT PLASMA/METHODE PHASE VAPEUR/RESONANCE CYCLOTRONIQUE ELECTRONIQUE/BASSE PRESSION/MATERIAU AMORPHE HYDROGENE/CARBONE/CARBONE NITRURE/GRAVURE PLASMA/ELLIPSOMETRIE/IN SITU/ELLIPSOMETRIE SPECTROSCOPIQUE/SPECTRE IR/SPECTRE RAMAN/SPECTROMETRIE PHOTOELECTRON/RAYON X/SONDE LANGMUIR/SPECTROMETRIE EMISSION/A-C:H/A-C:H:N

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