NantilusDEPOT ET GRAVURE DES COUCHES MINCES DE CARBONE (A-C : H) ET DE CARBONITRURE (A-C:H:N) AMORPHES HYDROGENES DANS UN PLASMA EXCITE PAR RESONANCE CYCLOTRONIQUE ELECTRONIQUE ET RADIOFREQUENCE
DES COUCHES MINCES DE CARBONE (A-C:H) ET DE CARBONITRURE AMORPHE HYDROGENE (A-C:H:N) ONT ETE DEPOSEES A BASSE PRESSION (0,35 PA) DANS UNE DECHARGE DUALE RCE - RF. L'INTERACTION ENTRE LE PLASMA ET LA SURFACE PENDANT LE DEPOT ET LA GRAVURE DES FILMS DE A-C:H:(N) A ETE CONTROLEE PAR ELLIPSOMETRIE...
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| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | DEPOT ET GRAVURE DES COUCHES MINCES DE CARBONE (A-C : H) ET DE CARBONITRURE (A-C:H:N) AMORPHES HYDROGENES DANS UN PLASMA EXCITE PAR RESONANCE CYCLOTRONIQUE ELECTRONIQUE ET RADIOFREQUENCE / JUNEGIE HONG; SOUS LA DIR. DE GUY TURBAN |
| Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 1999 |
| Description matérielle : | 175 p. |
| Note de thèse : | Thèse de doctorat : PHYSIQUE : Nantes : 1999 |
| Sujets : |
BU Sciences
| | Cote | Prêt | Statut |
|---|---|---|---|
| Magasin aérotherme | 99 NANT 2104 | Empruntable | Disponible |
| Magasin aérotherme | 99 NANT 2104 | Exclu du prêt | Disponible |