NantilusCaractérisation physico chimique des couches minces de tungstène d'interconnexion pour les technologies CMOS submicroniques
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| Auteur principal : | |
|---|---|
| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | Caractérisation physico chimique des couches minces de tungstène d'interconnexion pour les technologies CMOS submicroniques |
| Publié : |
1994 |
| Description matérielle : | 267 f. |
| Note de thèse : | Th. : Sci. : Nantes : 1994 ; 2038 Matériaux ; spéc. Microélectronique |
| Sujets : |
BU Sciences
| | Cote | Prêt | Statut |
|---|---|---|---|
| Magasin aérotherme | 94 NANT 2038 | Empruntable | Disponible |
| Magasin aérotherme | 94 NANT 2038 | Exclu du prêt | Disponible |