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Pulvérisation ionique assistée par faisceaux d'ions d'oxyde de silicium et de tantale : application aux multicouches optiques
LA TECHNIQUE DU DOUBLE CANON A IONS APRES CONTROLE ET OPTIMISATION DES PARAMETRES DE DEPOT, PERMET DE VERIFIER LE RENDEMENT DE PULVERISATION QUEL QUE SOIT LE MATERIAU CONSTITUTIF DE LA CIBLE. LES EXPERIENCES MENEES SUR LES OXYDES DE SILICIUM ET DE TANTALE ONT CONFIRME LES SIMULATIONS DU TRANSPORT DE...
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| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | Pulvérisation ionique assistée par faisceaux d'ions d'oxyde de silicium et de tantale : application aux multicouches optiques / par Patrice Laprat |
| Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 1991 |
| Description matérielle : | 1 vol. (220 p.) |
| Note de thèse : | Thèse de doctorat : Sciences : Lyon 1 : 1991 |
| Sujets : |
BU Sciences
| | Cote | Prêt | Statut |
|---|---|---|---|
| Magasin aérotherme | 91 LYO1 Laprat | Empruntable | Disponible |