Description: Caractérisation des films minces de carbone amorphe hydrogéné (a:C-H) élaborés en plasma rf : étude de l'interface a:C-H / substrat et des mécanismes d'adhésion

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Détails bibliographiques
Auteur principal :	FOURCHES NATHALIE
Format :	Thèse ou mémoire
Langue :	français
Titre complet :	Caractérisation des films minces de carbone amorphe hydrogéné (a:C-H) élaborés en plasma rf : étude de l'interface a:C-H / substrat et des mécanismes d'adhésion
Publié :	1993
Description matérielle :	197 p
Note de thèse :	Th. : Sci. : Nantes : 1993 ; 2054 Matériaux : Plasma - Couches minces
Sujets :	Carbone Silicium Spectroscopie Fibres optiques Carbones amorphes (DLC), couches minces, structure Carbone adamantin ("Diamond Like" DLC) Carbone H-DLC (Hydrogenated Diamond Like Carbon) Dépôt chimique activé par plasma (PECVD), films minces PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) Dépôt par plasma rf, couches minces Gemmes, dépôt de film protecteur Fibres optiques en verre fluoré, film protecteur Spectrométrie infra-rouge à transformée de Fourier (FTIR) FTIR (Fourier transform, infrared region) Spectrométrie de masse des ions secondaires (SIMS) SIMS (Secondary Ions Mass Spectroscopy) Ellipsométrie in-situ Spectrométrie de photoélectrons X (XPS) XPS (X ray photoelectron spectroscopy)

Description
Notes :	IMN - UMR 110 - CNRS, LPCM, ISITEM
Bibliographie :	187 réf. bibl.