Holdings: Caractérisation des films minces de carbone amorphe hydrogéné (a:C-H) élaborés en plasma rf : étude de l'interface a:C-H / substrat et des mécanismes d'adhésion

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Bibliographic Details
Main Author :	FOURCHES NATHALIE
Format :	Thesis
Language :	français
Title statement :	Caractérisation des films minces de carbone amorphe hydrogéné (a:C-H) élaborés en plasma rf : étude de l'interface a:C-H / substrat et des mécanismes d'adhésion
Published :	1993
Physical Description :	197 p
Note de thèse :	Th. : Sci. : Nantes : 1993 ; 2054 Matériaux : Plasma - Couches minces
Subjects :	Carbone Silicium Spectroscopie Fibres optiques Carbones amorphes (DLC), couches minces, structure Carbone adamantin ("Diamond Like" DLC) Carbone H-DLC (Hydrogenated Diamond Like Carbon) Dépôt chimique activé par plasma (PECVD), films minces PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) Dépôt par plasma rf, couches minces Gemmes, dépôt de film protecteur Fibres optiques en verre fluoré, film protecteur Spectrométrie infra-rouge à transformée de Fourier (FTIR) FTIR (Fourier transform, infrared region) Spectrométrie de masse des ions secondaires (SIMS) SIMS (Secondary Ions Mass Spectroscopy) Ellipsométrie in-situ Spectrométrie de photoélectrons X (XPS) XPS (X ray photoelectron spectroscopy)

Holdings details from BU Sciences
Location	Call Number	Loan type	Status
Magasin aérotherme	93 NANT 2054	Empruntable	Available
Magasin aérotherme	93 NANT 2054	Exclu du prêt	Disponible