NantilusELABORATION ET CARACTERISATION DE COUCHES MINCES DE SILICIURES DE TUNGSTENE
LES SILICIURES DE TUNGSTENE EN COUCHES MINCES SONT UTILISES COMME MATERIAU DE GRILLE ET D'INTERCONNEXION DANS LES CIRCUITS INTEGRES. DES COUCHES MINCES ELABOREES PAR PULVERISATION CATHODIQUE D'UNE CIBLE WSI#2 ONT UN RAPPORT ATOMIQUE SI: W EGAL A 1,1. POUR TENTER D'ATTEINDRE LA STCHIOM...
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| Auteurs principaux : | , |
|---|---|
| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | ELABORATION ET CARACTERISATION DE COUCHES MINCES DE SILICIURES DE TUNGSTENE / HOCINE KARMED ET DIR. THESE GROLLEAU |
| Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 1989 |
| Note de thèse : | Thèse Doctorat : PHYSIQUE : Nantes : 1989 |
| Sujets : |
BU Sciences
| | Cote | Prêt | Statut |
|---|---|---|---|
| Magasin aérotherme | 89 NANT 2023 | Empruntable | Disponible |
| Magasin aérotherme | 89 NANT 2023 | Exclu du prêt | Disponible |