GRAVURE IONIQUE REACTIVE DES COUCHES MINCES DE TUNGSTENE EN PLASMAS RADIOFREQUENCE DE SF#6/O#2

GRAVURE IONIQUE REACTIVE DES COUCHES MINCES DE TUNGSTENE EN PLASMAS RADIOFREQUENCE DE SF#6/O#2

CE MEMOIRE DE THESE PRESENTE UNE ETUDE DU PROCEDE DE GRAVURE IONIQUE REACTIVE DES COUCHES MINCES DE TUNGSTENE EN PLASMAS RADIOFREQUENCE DE SF#6/O#2. LE TUNGSTENE DEPOSE EN COUCHES MINCES PAR CVD (CHEMICAL VAPOR DEPOSITION) CONSTITUE LE PREMIER NIVEAU D'INTERCONNEXION DANS LA TECHNOLOGIE CMOS A...

Description complète

Enregistré dans:
Détails bibliographiques
Auteur principal : PEIGNON MARIE-CLAUDE (Auteur)
Autres auteurs : Turban Guy (Directeur de thèse)
Format : Thèse ou mémoire
Langue : français
Titre complet : GRAVURE IONIQUE REACTIVE DES COUCHES MINCES DE TUNGSTENE EN PLASMAS RADIOFREQUENCE DE SF#6/O#2 / MARIE-CLAUDE PEIGNON; SOUS LA DIRECTION DE GUY TURBAN
Publié : [S.l.] : [s.n.] , 1993
Description matérielle : 214 p
Note de thèse : Thèse Doctorat : SCIENCES APPLIQUEES : Nantes : 1993
Sujets :
Plasmas froids
Décharges électriques
Tungstène
Spectrométrie de masse
SCIENCES APPLIQUEES : ELECTRONIQUE
GRAVURE IONIQUE REACTIVE/COUCHE MINCE/TUNGSTENE/NC/GRAVURE PLASMA/PLASMA FROID/DECHARGE ELECTRIQUE/RADIOFREQUENCE/SOUFRE HEXAFLUORURE/NK/ANALYSE SURFACE/MESURE/SPECTROMETRIE PHOTOELECTRON/SPECTROMETRIE MASSE/SPECTROMETRIE OPTIQUE
REACTIVE ION ETCHING/THIN FILM/TUNGSTEN/NC/PLASMA ETCHING/COLD PLASMA/ELECTRIC DISCHARGE/RADIOFREQUENCY/SULFUR HEXAFLUORIDE/NK/SURFACE ANALYSIS/MEASUREMENT/PHOTOELECTRON SPECTROMETRY/MASS SPECTROMETRY/OPTICAL SPECTROMETRY

BU Sciences

Informations d'exemplaires de BU Sciences
‌ Cote Prêt Statut
Magasin aérotherme 93 NANT 2004 Empruntable Disponible
Magasin aérotherme 93 NANT 2004 Exclu du prêt Disponible