NantilusETUDE PAR SPECTROSCOPIE DE PHOTOELECTRONS XPS DE L'INTERACTION INDUITE PAR FAISCEAU D'ELECTRONS OU D'IONS NEON ENTRE DE L'HEXAFLUORURE DE SOUFRE ADSORBE ET DU SILICIUM MONOCRISTALLIN A BASSE TEMP
CE MEMOIRE PRESENTE UNE ETUDE FONDAMENTALE DE L'INTERACTION, INDUITE PAR FAISCEAU D'ELECTRONS OU D'IONS NEON, ENTRE DE L'HEXAFLUORURE DE SOUFRE ET DU SILICIUM MONOCRISTALLIN A BASSE TEMPERATURE. IL S'AGIT D'UNE CONTRIBUTION A LA COMPREHENSION DU PROCESSUS DE GRAVURE PLA...
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| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | ETUDE PAR SPECTROSCOPIE DE PHOTOELECTRONS XPS DE L'INTERACTION INDUITE PAR FAISCEAU D'ELECTRONS OU D'IONS NEON ENTRE DE L'HEXAFLUORURE DE SOUFRE ADSORBE ET DU SILICIUM MONOCRISTALLIN A BASSE TEMP / JACQUES ROYER; SOUS LA DIRECTION DE B. GROLLEAU |
| Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 1994 |
| Description matérielle : | 122 P. |
| Note de thèse : | Thèse de doctorat : PHYSIQUE/CHIMIE : Nantes : 1994 |
| Sujets : |
BU Sciences
| | Cote | Prêt | Statut |
|---|---|---|---|
| Magasin aérotherme | 94 NANT 2087 | Empruntable | Disponible |
| Magasin aérotherme | 94 NANT 2087 | Exclu du prêt | Disponible |