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Analyse en énergie des ions et des électrons arrivant sur un substrat polarisé négativement dans deux décharges de pulvérisation : influence des bombardements ionique et électronique sur les propriétés et les contraintes résiduelles des couches de nitrure de titane obtenues dans ces deux décharges
Cette étude porte sur l'analyse en énergie des ions et des électrons venant bombarder un porte-substrat polarisé négativement dans deux décharges de pulvérisation: diode en courant continu et planar magnétron R.F., et sur l'influence des bombardements ionique et électronique sur les propri...
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| Auteurs principaux : | , |
|---|---|
| Collectivités auteurs : | , |
| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | Analyse en énergie des ions et des électrons arrivant sur un substrat polarisé négativement dans deux décharges de pulvérisation : influence des bombardements ionique et électronique sur les propriétés et les contraintes résiduelles des couches de nitrure de titane obtenues dans ces deux décharges / Pierre-Yves Jouan; sous la direction de Georges Lemperière |
| Publié : |
1992 |
| Description matérielle : | 1 vol. (209 p.) |
| Note de thèse : | Thèse de doctorat : Physique : Nantes : 1992 |
| Sujets : | |
| Documents associés : | Reproduit comme:
ANALYSE EN ENERGIE DES IONS ET DES ELECTRONS ARRIVANT SUR UN SUBSTRAT POLARISE NEGATIVEMENT DANS DEUX DECHARGES DE PULVERISATION. INFLUENCE DES BOMBARDEMENTS IONIQUE ET ELECTRONIQUE SUR LES PROPRIETES ET LES CONTRAINTES RESIDUELLES DES COUCHES DE NITRURE DE TITANE OBTENUES DANS CES DEUX DECHARGES |
BU Sciences
| | Cote | Prêt | Statut |
|---|---|---|---|
| Magasin aérotherme | 92 NANT 2023 | Empruntable | Disponible |
| Magasin aérotherme | 92 NANT 2023 | Exclu du prêt | Disponible |