NantilusGRAVURE IONIQUE REACTIVE DES COUCHES MINCES DE TUNGSTENE ET DE TANTALE DANS UN PLASMA RADIOFREQUENCE DE SF::(6) : ANALYSE DU PLASMA ET DES SURFACES GRAVEES
LA PRESENTE ETUDE PORTE SUR LA GRAVURE SECHE DE DIFFERENTS MATERIAUX UTILISES POUR LA MICROELECTRONIQUE. NOUS AVONS ETUDIE L'INTERACTION ENTRE UN PLASMA RF DE SF, A BASSE PRESSION, ET LES COUCHES MINCES DE TANTALE ET DE TUNGSTENE. POUR CELA NOUS AVONS EFFECTUE UNE ANALYSE DU PLASMA DE SF::(6) A...
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| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | GRAVURE IONIQUE REACTIVE DES COUCHES MINCES DE TUNGSTENE ET DE TANTALE DANS UN PLASMA RADIOFREQUENCE DE SF::(6) : ANALYSE DU PLASMA ET DES SURFACES GRAVEES / PHILIPPE BRIAUD; SOUS LA DIRECTION DE GUY TURBAN |
| Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 1988 |
| Description matérielle : | 246 P. |
| Note de thèse : | DOCTORAT D'ETAT : SCIENCES APPLIQUEES : Nantes : 1988 |
| Sujets : |
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