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, . GRAVURE IONIQUE REACTIVE DES COUCHES MINCES DE TUNGSTENE ET DE TANTALE DANS UN PLASMA RADIOFREQUENCE DE SF::(6). [[S.l.]: [s.n.]; 1988.
et . GRAVURE IONIQUE REACTIVE DES COUCHES MINCES DE TUNGSTENE ET DE TANTALE DANS UN PLASMA RADIOFREQUENCE DE SF::(6). [S.l.] : [s.n.], 18 juin 1988
Briaud Philippe & Turban Guy. (1988). GRAVURE IONIQUE REACTIVE DES COUCHES MINCES DE TUNGSTENE ET DE TANTALE DANS UN PLASMA RADIOFREQUENCE DE SF::(6): ANALYSE DU PLASMA ET DES SURFACES GRAVEES. [s.n.].
Style de citation MLA (8e éd.)Briaud Philippe et Turban Guy. GRAVURE IONIQUE REACTIVE DES COUCHES MINCES DE TUNGSTENE ET DE TANTALE DANS UN PLASMA RADIOFREQUENCE DE SF::(6): ANALYSE DU PLASMA ET DES SURFACES GRAVEES. [s.n.], 1988.
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