ETUDE EXPERIMENTALE ET MODELISATION D'UNE DECHARGE RADIOFREQUENCE MAGNETRON POUR LA REALISATION DE COUCHES MINCES DE TIW

ETUDE EXPERIMENTALE ET MODELISATION D'UNE DECHARGE RADIOFREQUENCE MAGNETRON POUR LA REALISATION DE COUCHES MINCES DE TIW

CE MEMOIRE EST CONSACRE A L'ETUDE EXPERIMENTALE ET A LA MODELISATION D'UNE DECHARGE PLANAR MAGNETRON RADIOFREQUENCE, POUR LA PULVERISATION CATHODIQUE D'UNE CIBLE DE WTI SOUS UN PLASMA D'ARGON. L'OBJECTIF DE CE TRAVAIL EST DE CONTRIBUER A UNE MEILLEURE COMPREHENSION ET A TERM...

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Bibliographic Details
Main Author : CLENET FREDERIC (Auteur)
Other Authors : Turban Guy (Directeur de thèse)
Format : Thesis
Language : français
Title statement : ETUDE EXPERIMENTALE ET MODELISATION D'UNE DECHARGE RADIOFREQUENCE MAGNETRON POUR LA REALISATION DE COUCHES MINCES DE TIW / FREDERIC CLENET; SOUS LA DIRECTION DE GUY TURBAN
Published : [S.l.] : [s.n.] , 1997
Physical Description : 180 P.
Note de thèse : Thèse de doctorat : PHYSIQUE : Nantes : 1997
Subjects :
PHYSIQUE : FLUIDES, PLASMAS ET DECHARGES ELECTRIQUES/SCIENCES DES MATERIAUX, RHEOLOGIE
ETUDE THEORIQUE/ETUDE EXPERIMENTALE/PULVERISATION CATHODIQUE/MAGNETRON/RADIOFREQUENCE/DIAGNOSTIC PLASMA/SPECTROMETRIE EMISSION/SONDE ELECTROSTATIQUE/MODELISATION/COUCHE MINCE/TITANE ALLIAGE/TUNGSTENE ALLIAGE/ALLIAGE TIW/TI W/5275R/PAC/8115C/PAC
THEORETICAL STUDY/EXPERIMENTAL STUDY/CATHODE SPUTTERING/MAGNETRONS/RADIOFREQUENCY/PLASMA DIAGNOSTICS/EMISSION SPECTROSCOPY/ELECTROSTATIC PROBES/MODELLING/THIN FILMS/TITANIUM ALLOYS/TUNGSTEN ALLOYS

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